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        半導體行業氣體品質檢測

        更新時間:2025-01-13

        簡要描述:

        半導體行業氣體品質檢測五項測試檢測出報告測試項目包括微粒、氧氣含量、水份、氦氣測漏與壓力測試。注:1、管路微粒、水氧等測試前須先銜接廠務端接點后

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        五項測試檢測技術內容

         

        半導體行業氣體品質檢測測試項目包括微粒、氧氣含量、水份、氦氣測漏與壓力測試

        注:1、管路微粒、水氧等測試前須先銜接廠務端接點后,以閥箱或氣柜內之test port通入N2(c)進行測試,如N2(C)純度不夠無法滿足要求,廠商需自配純化器。

            2、施工purge及保壓、微粒、水份測試等限定使用N2半導體行業氣體品質檢測

         

        半導體行業氣體品質檢測五項測試檢測出報告一、管線測試規范如下:

        1.管路持壓測試

        Bulk-gas及Purified-gas持壓測試時間≧6小時; Special-gas持壓測試時間≧24小時 (須檢附保壓記錄器圓盤記錄紙);合格標準:氣體保壓測試初始壓力7.5~8.5 kg/cm2,持壓后△P≦1%初始壓力

         

        2.管路微粒測試

        Purified-gas 及 Special-gas氣體管路須進行微粒測試,并須檢附Particle Counter紀錄紙;合格標準:每10分鐘測1點,連續測3次,Purified-gas、Special gas粒徑≦0.1μm,顆粒數≦0 pcs/cf

         

        3.管路水份/氧分析測試

        Purified-gas 及 Special-gas(含H2、不含NG)氣體管路須進行水份、氧分析測試,并須檢附水份、氧分析儀紀錄紙;合格標準:測試時間30分鐘,D.P(含水量)≦10 ppb   D.P(含氧量)≦10 ppb。水份分析儀誤差range為±4ppb,允許實測讀值應小于6ppb

         

        4.管路氦測漏

        Purified-gas 及Special-gas(含H2、不含NG)氣體管路須進行氦測漏測試,并須檢附氦測漏機紀錄紙;合格標準:測試時間30分鐘,漏率≦1*10-9 Atm cc/sec

         

        .測試要求:

        所有測試按接機點計算,必須保證所有管路均有測試,必須將所有管路末端單一逐一測試,或者末端串聯測試,保證管路都經過儀器檢測,測試高純氣體與特殊氣體分開測試。

         

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