ALICAT 帶集成截止閥氣體質量流量控制器

技術指標

介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    內置了98種氣體，請參考“產品資料下載"中氣體兼容表

                  一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量       程    從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM

量 程  比    200：1

最大顯示流量    102.4%FS

顯示屏    帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精度    ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數 FS-雙向滿量程

高精度    ±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備

閥門泄漏率    不超過1x10 atm scc/sec (He)

重復性    ± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移    0.02% FS / ?C / Atm

響應時間    100ms（可調）預熱時間：<1s

標定工況：25℃ & 100kPa 絕壓、20℃ & 100kPa 絕壓、0℃ & 100kPa 絕壓 (三種工況現場可切換)

工作溫度：-10 ～ +50 ℃

工作濕度：0-100%，無冷凝

標準最大工作壓力    1MPa 表壓

標準極限耐壓    1.2MPa 表壓

中壓選項    2MPa

數字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出：質量流量或體積流量或壓力或溫度

供電電壓    7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流    250mA ～ 750mA

電氣接口    8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業接頭

材質    316L,303&302不銹鋼,Viton,硅膠RTV，玻璃增強尼龍

鋁 ,黃銅,430FR 不銹鋼, 硅，玻璃, PCTFE

安裝方式    對位置無要求 防護等級：IP40